二次離子質(zhì)譜

應(yīng)用：痕量雜質(zhì)定性定量（標(biāo)樣法）分析

優(yōu)點(diǎn)：檢測限可達(dá)PPM，甚至PPB量級，能檢測含氫在內(nèi)的所有元素及同位素，分析化合物組分及有機(jī)大分子

             結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)行微區(qū)成分的成像及深度剖面分析

缺點(diǎn)：定量差，樣品表面需要平整，破壞樣品

應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域：基體表面痕量雜質(zhì)分析

環(huán)境領(lǐng)域：大氣中微粒成分分析、地質(zhì)樣品

納米材料的結(jié)構(gòu)